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通常來說,光譜儀有三個重要組成部分:狹縫(Slit)、色散元件(Dispersive element)、檢測器(Detector)。在光譜儀性能評價中,重要的評價指標之一便是色散能力(Dispersive power)。

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然而,值得注意的是,你把光譜儀的分辨能力提得越高,雖然波長相近的光能夠被區分地更好,但其代價就是一定長度的detector上所能展現的光譜范圍變小了,所以,當光柵光譜儀發展到一定階段后,人們發現重要的問題又出現在了檢測器(detector)這一側。

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感光元件是直讀光譜儀的核心,元器件的好壞關系到精密儀器的精度。直讀光譜儀(OES)的核心元件有三種,一種是廣泛使用的CCD(電荷耦合)元件;另一種是CMOS(互補金屬氧化物半導體)器件,還有一種是PMT光電倍增管。

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